磁过滤多弧离子镀膜系统-主要产品-沈阳好智多新材料制备技术有限公司

磁过滤多弧离子镀膜系统

公司电话 024-88096571

设备用途：

用于在叶片、钻头等工件上镀制超硬膜而特殊设计的一种专用设备，其特点是薄膜附着力强、耐磨摩擦系数小，在科研与工业生产上应用广泛。

主要技术指标
真空指标	极限真空度：≤5x10-4Pa (经烘烤除气后)；系统真空检漏漏率：≤5.0x10-7 Pa.l/S；系统短时间暴露大气并充干燥氮气后，再开始抽气，40分钟可达到3x10-3 Pa；停泵关机12小时后真空度：≤20Pa；
真空室	真空室为立式圆筒型真空室或U型真空室前开门，壁挂防污板，选用优质不锈钢材料制造，氩弧焊接，表面进行特殊工艺抛光处理，接口采用金属垫圈密封或氟橡胶圈密封。
样品	转盘上可放置400个直径为15mm的工件或定制；加热最高温度 600°C±1°C；脉冲偏压1000v；公自转；
真空获得及测量	分子泵+机械泵，数显复合真空计（皮拉尼规+电离规）
气路	两路进气，气体流量控制器。
多弧源	Φ100mm,4-8支
控制系统	手动或自动
工作压力控制系统	手动或自动
水冷机组	可选
磁过滤多弧源	可选