主要技术指标

真空指标

生长室：

极限真空度:优于6. 6X10-5Pa; 抽速： 40分钟可达到5 X 10-4Pa, 检漏漏率:优于10- 7Pa. 1 / s；

进样室：

极限真空度:优于 6. 6 X 10-4Pa; 抽速： 40分钟可达到5 X 10-3 Pa, 检漏漏率:优于10-7 Pa. 1 / s；

生长室

真空室尺寸约为Φ500mm X H625mm,  上法兰为封头结构，前面设有矩形活开门真空室设计采用高真空设计，四壁水道冷却，壁挂防污板，选用优质不锈钢材料制造，氩弧焊接，表面处理采用喷玻璃丸＋化学电解抛光钝化处理新工艺；

进样室

带九层样品库； 样品尺寸最大 150 X 150mm ;样品台装置可手动上下升降，手动转动，并有每90度角度位置定位装置，满足样品更换掩膜板及样品交接传递需要

蒸发源

无机蒸发源 ： W/T a/ Mo舟蒸发；

E型电子枪： 功率0- 8KW, 四穴玵涡， 每个容量约为 20 ml;

单穴尺寸：Φ42mm X Φ35 mm X 25mm (圆台型）

低温有机蒸发源：温度范围： 50—600°C。三氧化二铝坩埚 ，标准容量10cc ;

高温有机蒸发源： 常用温度1200°C, PBN玵祸， 标准容量1- 10cc ;

样品传递装置

手动或电动控制传递杆

真空获得及测量

分子泵+机械泵或冷泵+干式真空泵；数显复合真空计（皮拉尼规+电离规）

样品台

基片尺寸： 可放置最大150 X 150mm; ( 可选单样品加热，温度范围0- 300°C )

基片掩膜库装置 1套：上面4层为掩膜库，每层可装1种 掩膜板

蒸发电源

3KW，带有微调功能±0.1A 

控制系统 

自动

手套箱

密闭循环手套箱内的隋性气体经循环风机和净化器密闭循环，不断地除水除氧；自动控制再生：除水除氧材料可以再生，再生过程由程序控制；自动清洗：手套箱内的气氛置换通过自动控制的清洗阀门完成；箱体压力控制：手套箱内压力通过PLC自 动控制，工作压力+/- 10 mbar 内可以自由设定，超出+/ - 12mbar 系统自动保护；真空泵自动控制：真空泵要求在系统需要时自动开启；

功能：气体密闭，除水、除氧； 容器材料： 304不锈钢；

净化材料：铜触媒： 5kg, 分子筛： 5kg;

净化能力：除氧： 60L, 除水： 2Kg;

水氧指标 ： 小千1pp m;

水冷机组

可选

石英晶振膜厚仪

多探头可选